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特長
●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。
仕様
●排気速度(L/min)50/60Hz:6/7
●到達圧力(Pa):6.65×10[[の3乗]]
●吸気口径(mm):Rc1/8
●電源(V):単相200
●全幅(mm):91
●全長(mm):163
●全高(mm):100.6
仕様2
●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)
●低速低圧用
注意
●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。
●ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。
原産国(名称):日本
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